搜索结果: SJ/T 31079-1994, SJ/T31079-1994, SJT 31079-1994, SJT31079-1994
| 标准编号 | SJ/T 31079-1994 (SJ/T31079-1994) | | 中文名称 | 正、负胶显示影机、匀胶机完好要求和检查评定方法 | | 英文名称 | Requirements of readiness and methods of inspection and assessment for negative/positive resist developers and spin coaters | | 行业 | 电子行业标准 (推荐) | | 中标分类 | L97 | | 字数估计 | 3,351 | | 发布日期 | 4/15/1994 | | 实施日期 | 6/1/1994 | | 范围 | 本标准规定了正胶显影机、负胶显影机、匀胶机和擦片机的完好要求和检查、评定方法。本标准适用于半导体集成电路、晶体管生产中, 硅片正性胶显影的正胶显影机、负性胶显影的负股显影机、硅片涂胶自动匀胶机和自动擦片机。 | ......
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