搜索结果: SJ/T 31096-1994, SJ/T31096-1994, SJT 31096-1994, SJT31096-1994
| 标准编号 | SJ/T 31096-1994 (SJ/T31096-1994) | | 中文名称 | 精密硅片磨床完好要求和检查评定方法 | | 英文名称 | Readiness requirements and methods of inspection and assessment for high-precision silicon wafer grinding machines | | 行业 | 电子行业标准 (推荐) | | 中标分类 | L97;J55 | | 字数估计 | 4,471 | | 发布日期 | 4/15/1994 | | 实施日期 | 6/1/1994 | | 范围 | 本标准规定了精密硅片磨床的完好要求与检查、评定方法。本标准适用于CM73-Ⅲ型精密硅片磨床。其它类型的硅片磨床也可参照本标准执行。 | ......
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