SJ/T 31113-1994 相关标准英文版PDF

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SJ/T 31113-1994	英文版	179	SJ/T 31113-1994	[PDF]天数 <=2	DB-3型电子束曝光机完好要求和检查评定方法	SJ/T 31113-1994	作废

基本信息
标准编号	SJ/T 31113-1994 (SJ/T31113-1994)
中文名称	DB-3型电子束曝光机完好要求和检查评定方法
英文名称	Requirements of readiness and methods of inspection and assessment for DB-3 electron beam exposure systems
行业	电子行业标准 (推荐)
中标分类	L97
字数估计	2,273
发布日期	4/15/1994
实施日期	6/1/1994
范围	本标准规定了DB-3型电子束曝光机的完好要求和检查、评定方法。本标准只适用于DB-3型电子束曝光机。

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