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| 标准编号 | YS/T 1123-2016 (YS/T1123-2016) | | 中文名称 | 铂蒸发料 | | 英文名称 | Evaporated platinum material | | 行业 | 有色冶金行业标准 (推荐) | | 中标分类 | H68 | | 字数估计 | 7,752 | | 发布日期 | 2016-07-11 | | 实施日期 | 2017-01-01 | | 标准依据 | Notice of the Ministry of Industry and Information Technology (2016 No. 37) | | 发布机构 | 工业和信息化部 | | 范围 | 本标准规定了铂蒸发料的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书及订货单（或合同）内容。 | YS/T 1123-2016
Evaporated platinum material
ICS 77.150.99
H68
中华人民共和国有色金属行业标准
铂 蒸 发 料
2016-07-11发布
2017-01-01实施
中华人民共和国工业和信息化部 发 布
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)提出并归口。
本标准起草单位:有研亿金新材料有限公司、有色金属技术经济研究院。
本标准主要起草人:张巧霞、张涛、王兴权、向磊、万小勇、贺昕、张玉利、王越、王永辉、贾存锋。
铂 蒸 发 料
1 范围
本标准规定了铂蒸发料的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书及订货单
(或合同)内容。
本标准适用于半导体行业用的铂蒸发料。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 1419-2004 海绵铂
GB/T 2828.1 计数抽样检验程序 第1部分:按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划
GB/T 15077-2008 贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法
3 要求
3.1 产品分类
3.1.1 产品按照化学成分分为IC-Pt99.95、IC-Pt99.99两个牌号。
3.1.2 产品主要分为片状、柱状,如图1所示。产品形状、定义及供货状态应符合表1的要求,需方有
其他要求时由供需双方协商解决。
说明:
A---长度; L---长度;
B---宽度; D---直径。
C---厚度;
图1 铂蒸发料示意图
表1 铂蒸发料分类
形状 定义 供货状态
片状 厚度为0.5mm~5mm,长度为5mm~20mm,宽度为5mm~20mm的片材
柱状 直径为2mm~8mm,长度为3mm~10mm的丝线材
加工态
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