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| 标准编号 | YS/T 1141-2016 (YS/T1141-2016) | | 中文名称 | 钛蒸发料 | | 英文名称 | Evaporated titanium material | | 行业 | 有色冶金行业标准 (推荐) | | 中标分类 | H64 | | 字数估计 | 7,782 | | 发布日期 | 2016-07-11 | | 实施日期 | 2017-01-01 | | 标准依据 | Notice of the Ministry of Industry and Information Technology (2016 No. 37) | | 发布机构 | 工业和信息化部 | | 范围 | 本标准规定了钛蒸发料的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与合同（或订货单）内容。 | YS/T 1141-2016
Evaporated titanium material
ICS 77.150.50
H64
中华人民共和国有色金属行业标准
钛 蒸 发 料
2016-07-11发布
2017-01-01实施
中华人民共和国工业和信息化部 发 布
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)提出并归口。
本标准起草单位:有研亿金新材料有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所。
本标准主要起草人:张涛、刘书芹、何金江、万小勇、徐学礼、罗俊锋、丁照崇、王越、高岩、刘冬青、
吴艳华。
钛 蒸 发 料
1 范围
本标准规定了钛蒸发料的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与合同
(或订货单)内容。
本标准适用于半导体行业用的钛蒸发料。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 2828.1 计数抽样检验程序 第1部分:按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划
GB/T 4698.7 海绵钛、钛及钛合金化学分析方法 氧量、氮量的测定
GB/T 4698.14 海绵钛、钛及钛合金化学分析方法 碳量的测定
GB/T 4698.15 海绵钛、钛及钛合金化学分析方法 氢量的测定
YS/T 891 高纯钛化学分析方法 痕量杂质元素的测定 辉光放电质谱法
YS/T 892 高纯钛化学分析方法 痕量杂质元素的测定 电感耦合等离子体质谱法
3 要求
3.1 产品分类
3.1.1 产品按照纯度分为IC-Ti99.9、IC-Ti99.995、IC-Ti99.999三个牌号。
3.1.2 产品主要分为片状、柱状,如图1所示。
说明:
A---边长;
B---边长;
C---厚度;
D---直径;
L---长度。
图1 钛蒸发料示意图
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