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| 标准编号 | YS/T 917-2013 (YS/T917-2013) | | 中文名称 | 高纯镉化学分析方法 痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法 | | 英文名称 | Chemical analysis methods for high purity cadmium.Determination of trace impurity elements content.Glow discharge mass spectrometry | | 行业 | 有色冶金行业标准 (推荐) | | 中标分类 | H13 | | 国际标准分类 | 77.120.70 | | 字数估计 | 7,723 | | 标准依据 | 工业和信息化部公告2013年第52号;行业标准备案公告2014年第1号(总第169号) | | 发布机构 | 工业和信息化部 | | 范围 | 本标准规定了高纯隔中痕量杂质元素含量的测定方法, 测定元素见表1。本标准适用于高纯镉中痕量杂质元素含量的测定。各元素测定范围如下:硫、硒元素的测定范围为100μg/kg～5000μg/kg, 其余元素的测定范围为1μg/kg～5000μg/kg。 | YS/T 917-2013
ICS 77.120.70
H13
中华人民共和国有色金属行业标准
高纯镉化学分析方法
痕量杂质元素含量的测定
辉光放电质谱法
2013-10-17发布
2014-03-01实施
中华人民共和国工业和信息化部 发 布
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口。
本标准负责起草单位:东方电气集团峨嵋半导体材料研究所、广东先导稀材股份有限公司。
本标准参加起草单位:北京有色金属研究总院、金川新材料科技股份有限公司。
本标准主要起草人:王攀峰、文英、孙平、朱刘、朱赞芳、刘红、邱平、徐顺波。
高纯镉化学分析方法
痕量杂质元素含量的测定
辉光放电质谱法
1 范围
本标准规定了高纯镉中痕量杂质元素含量的测定方法,测定元素见表1。
本标准适用于高纯镉中痕量杂质元素含量的测定。各元素测定范围如下:硫、硒元素的测定范围为
100μg/kg~5000μg/kg,其余元素的测定范围为1μg/kg~5000μg/kg。
2 方法原理
试料作为阴极进行辉光放电,其表面原子被溅射而脱离试样进入辉光放电等离子体中,在等离子体
中离子化后被导入质谱仪。在每一元素同位素质量数处以预设的扫描点数和积分时间对相应谱峰积
分,所得面积即为谱峰强度。进行半定量分析时,计算机根据仪器软件中的“典型相对灵敏度因子”自动
计算出各元素的质量含量;进行定量分析时,需通过在与被测样品相同的分析条件、离子源结构以及测
试条件下对标准样品进行独立测定获得相对灵敏度因子,应用该相对灵敏度因子计算出各元素的质量
含量。
3 试剂与材料
除非另有说明,试验中所用的试剂均为优级纯;所用的水为去离子水,其电阻率要求达
到18.2MΩ/cm。
3.1 氮气 (纯度≥99.99%)。
3.2 硝酸(1+1)。
3.3 镉标准样品,被测元素质量含量在50μg/kg~500μg/kg之间。
3.4 镉空白样品,要求被测元素含量低于被测试样中元素含量10倍以上。
4 仪器
4.1 高质量分辨率辉光放电质谱仪,中分辨率模式下分辨率可达3000~4000,高分辨率模式下分辨
率可达9000~10000。
4.2 机械加工设备,能够将样品制备成所......
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