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| 标准编号 | YS/T 954-2014 (YS/T954-2014) | | 中文名称 | 金砷蒸发料 | | 英文名称 | Gold-arsenic alloy for evaporating | | 行业 | 有色冶金行业标准 (推荐) | | 中标分类 | H68 | | 国际标准分类 | 77.120.99 | | 字数估计 | 10,129 | | 发布日期 | 10/14/2014 | | 实施日期 | 4/1/2015 | | 引用标准 | GB/T 11066.1; GB/T 15077; GB/T 25934.1 | | 标准依据 | 中华人民共和国工业和信息化部公告2014年第63号;行业标准备案公告2014年第12号(总第180号) | | 发布机构 | 工业和信息化部 | | 范围 | 本标准规定了金砷蒸发料的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与合同（或订货单）等内容。本标准主要适用于半导体芯片制造背金时用的金砷蒸发料。 | YS/T 954-2014
Gold-arsenic alloy for evaporating
ICS 77.120.99
H68
中华人民共和国有色金属行业标准
金 砷 蒸 发 料
2014-10-14发布
2015-04-01实施
中华人民共和国工业和信息化部 发 布
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)负责归口。
本标准起草单位:北京达博有色金属焊料有限责任公司、有色金属技术经济研究院。
本标准主要起草人:陈彪、向磊、杜连民、张蕴、向翠华、闫茹、赵月国、禹洁丽、杨志新、周晓光。
金 砷 蒸 发 料
1 范围
本标准规定了金砷蒸发料的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与合
同(或订货单)等内容。
本标准主要适用于半导体芯片制造背金时用的金砷蒸发料。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 11066.1 金化学分析方法 金量的测定 火试金法
GB/T 15077 贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法
GB/T 25934.1 高纯金化学分析方法 第1部分:乙酸乙酯萃取分离-ICP-AES法测定杂质元素
的含量
3 要求
3.1 产品分类
3.1.1 产品按化学成分分为Z-Au99.80As和Z-Au99.50As两种牌号。
3.1.2 产品主要以柱状和线盘状为主,产品形状及供货状态见表1。
表1
形状 产品形状 供货状态
柱状 直径为0.5mm~8mm、长度为2mm~100mm的线材
线盘状
直径为0.5mm~2mm、质量在100g~500g的线材盘成线盘状为主,线盘外径为100mm~
300mm
硬态
3.2 产品标记示例
3.2.1 柱状产品标记:
Z-Au99.80As,ϕ ×
直径
mm
长度
示例:直径为2mm、长度为3mm、成分为99.80%的柱状金砷蒸发料标记为:Z-Au99.80As,ϕ2×3mm。
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