[PDF] GB 6620-1986 - 中国标准 英文版

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GB 6620-1986 239 GB 6620-1986 <=2 硅片翘曲度的非接触式测试方法
   
基本信息
标准编号 GB 6620-1986 (GB6620-1986)
中文名称 硅片翘曲度的非接触式测试方法
英文名称 Standard method for measuring warp of silicon slices by noncontacting technique
行业 国家标准
中标分类 H26
字数估计 6,699
发布日期 7/26/1986
实施日期 7/1/1987
采用标准 ASTM F657-1980, MOD

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相关标准: GB/T 6402  GB/T 3310  GB/T 6620  GB/T 6402