[PDF] GB/T 16942-2009 - 英文版
| 标准号码 | 美元 | 购买PDF | 工期 | 标准名称(英文版) |
| GB/T 16942-2009 | 209 | GB/T 16942-2009 | <=3 | 电子工业用气体 氢 |
| 基本信息 | |
|---|---|
| 标准编号 | GB/T 16942-2009 (GB/T16942-2009) |
| 中文名称 | 电子工业用气体 氢 |
| 英文名称 | Gas for electronic industry -- Hydrogen |
| 行业 | 国家标准 (推荐) |
| 中标分类 | G86 |
| 国际标准分类 | 71.100.20 |
| 字数估计 | 9,930 |
| 发布日期 | 2009-10-30 |
| 实施日期 | 2010-05-01 |
| 旧标准 (被替代) | GB/T 16942-1997 |
| 引用标准 | GB 190-2009; GB/T 3634.1; GB/T 3723; GB 4962; GB 5099; GB/T 6285; GB 7144; GB/T 8984; GB 14194; 气瓶安全监察规程; 压力容器安全技术监察规程; 压力管道安全管理与监察规定 |
| 标准依据 | 国家标准批准发布公告2009年第12号(总第152号) |
| 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 |
| 范围 | 本标准规定了电子工业用氢的技术要求, 试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以红气为原料经净化制取的瓶装、集装格装和管道输送的电子工业用氢气。它们主要被用来提供还原气氛, 作为外延工艺的载气以及等离子体蚀刻剂的配气原料。 |
GB/T 16942-2009
Gas for electronic industry.Hydrogen
ICS ７１．１００．２０
G８６
中华人民共和国国家标准
GB/T １６９４２-２００９
代替GB/T １６９４２-１９９７
电子工业用气体 氢
２００９-１０-３０发布
２０１０-０５-０１实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布
前言
本标准代替GB/T １６９４２-１９９７《电子工业用气体 氢》。
本标准与GB/T １６９４２-１９９７相比主要变化如下：
---修改电子工业用氢的适用范围（GB/T １６９４２-１９９７的第１章，本版的第１章）；
---修改规范性引用文件（GB/T １６９４２-１９９７的第２章，本版的第２章）；
---修改技术指标内容（GB/T １６９４２-１９９７的第３章，本版的第３章）；
---修改电子工业用氢抽样规则（GB/T １６９４２-１９９７的４．１，本版的４．１．１、４．１．２）；
---修改电子工业用氢采样要求（GB/T １６９４２-１９９７的４．２，本版的４．１．３）；
---修改氮、一氧化碳、二氧化碳含量的分析方法（１６９４２-１９９７的４．４、４．６，本版的４．３）；
---修改总烃分析方法的检测限（１６９４２-１９９７的４．７，本版的４．５）；
---修改水分含量的分析方法（１６９４２-１９９７的４．８，本版的４．７）；
---修改标志、包装、贮运及安全（GB/T １６９４２-１９９７的第５章，本版的第５章）；
---增加规范性附录Ａ，并把采用氦离子化气相色谱法测定电子工业用氢中的氮、一氧化碳、二氧
化碳组分的方法写入该附录（见附录Ａ）。
本标准的附录Ａ为规范性附录。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会归口。
本标准起草单位：中国计量科学研究院、西南化工研究设计院。
本标准主要起草人：周泽义、周鹏云。
本标准所代替标准的历次版本发布情况为：
---GB/T １６９４２-１９９７。
GB/T １６９４２-２００９
电子工业用气体 氢
１ 范围
本标准规定了电子工业用氢的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于以氢气为原料经净化制取的瓶装、集装格装和管道输送的电子工业用氢气。它们主
要被用来提供还原气氛，作为外延工艺的载气以及等离子体蚀刻剂的配气原料。
分子式：Ｈ２。
相对分子质量：２．０１５８８（按２００５年国际相对原子质量计算）。
２ 规范性引用文件
下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有
的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究
是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。
GB １９０-２００９ 危险货物包装标志
GB/T ３６３４．１ 氢气 第１部分 工业氢
GB/T ３７２３ 工业用化学产品采样安全通则
GB ４９６２ 氢气使用安全技术规程
GB ５０９９ 钢质无缝气瓶（GB ５０９９-１９９４，neq ISO ４７０５：１９９３）
GB/T ６２８５ 气体中微量氧的测定 电化学法
GB ７１４４ 气瓶颜色标志
GB/T ８９８４ 气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定 气相色谱法
GB １４１９４ 永久气体气瓶充装规定
气瓶安全监察规程
压力容器安全技术监察规程
压力管道安全管理与监察规定
３ 技术要求
电子工业用气体氢的质量应符合表１的要求。
表１ 技术指标
项 目 指 标
氢（Ｈ２）纯度（体积分数）／１０-２ ≥ ９９．９９９９ ９９．９９９７ ９９．９９９５
氮（Ｎ２）含量（体积分数）／１０-６ ＜ ０．５ ２．０ ２
氧（Ｏ２）含量（体积分数）／１０-６ ＜ ０．２ ０．２ ０．５
一氧化碳（ＣＯ）含量（体积分数）／１０-６ ＜ ０．０５
二氧化碳（ＣＯ２）含量（体积分数）／１０-６ ＜ ０．０５
０．２
０．５
０．５
总烃（以甲烷计）含量（体积分数）／１０-６ ＜ ０．０５ ０．２ ０．５
水分（Ｈ２Ｏ）含量（体积分数）／１０-６ ＜ ０．２ ０．２ ０......