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[PDF] GB/T 19922-2005 - 英文版

标准号码	内文	价格美元	第2步(购买)	交付天数	标准名称	状态
GB/T 19922-2005	英文版	259	GB/T 19922-2005	[PDF]天数 >=3	硅片局部平整度非接触式标准测试方法	有效

基本信息
标准编号	GB/T 19922-2005 (GB/T19922-2005)
中文名称	硅片局部平整度非接触式标准测试方法
英文名称	Standard test methods for measuring site flatness on silicon wafers by noncontact scanning
行业	国家标准 (推荐)
中标分类	H17
国际标准分类	77.040.01
字数估计	10,193
发布日期	2005-09-19
实施日期	2006-04-01
采用标准	ASTM F1530-1994, MOD
标准依据	Announcement of Newly Approved National Standards No. 12 of 2005 (No. 86 overall)
发布机构	中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

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