路径: 主页 > GB/T > 第172页 > GB/T 26533-2011 | 标准编号 | GB/T 26533-2011 (GB/T26533-2011) | | 中文名称 | 俄歇电子能谱分析方法通则 | | 英文名称 | General rules for Auger electron spectroscopic analysis | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | N33 | | 国际标准分类 | 37.020; 17.180 | | 字数估计 | 13,120 | | 发布日期 | 2011-05-12 | | 实施日期 | 2011-12-01 | | 引用标准 | GB/T 22461-2008; ISO/TR 15969-2001; ISO 18116-2005; ISO 18118-2002(E); ISO/TR 18394-2006; ISO/TR 19319-2003; ASTM E1078-2002; ASTM E1829-2002 | | 标准依据 | 国家标准批准发布公告2011年第6号 | | 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | | 范围 | 本标准规定了以电子束为激发源的俄歇电子能谱(AES, Auger Electron Spectroscopy)的一般表面分析方法。本标准适用于俄歇电子能谱仪。 | GB/T 26533-2011
General rules for Auger electron spectroscopic analysis
ICS 37.020;17.180
N33
中华人民共和国国家标准
俄歇电子能谱分析方法通则
2011-05-12发布
2011-12-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布
目次
前言 Ⅲ
1 范围 1
2 规范性引用文件 1
3 术语和定义 1
4 方法原理 1
5 仪器 2
5.1 仪器组成 2
5.2 仪器性能 3
6 样品 3
7 分析步骤 4
7.1 能量标尺校正 4
7.2 AES定性分析及操作步骤 6
7.3 俄歇电子能谱的定量分析 6
7.4 深度剖析 7
7.5 元素化学态分析 7
8 分析结果的表述 7
8.1 俄歇全谱 7
8.2 窄谱 7
8.3 线扫描谱 7
8.4 深度剖析谱 7
8.5 多点显微对比分析 8
8.6 样品表面元素分布图(Augermap) 8
8.7 分析结果表述方式 8
图1 KL1L3 俄歇跃迁 2
图2 俄歇电子能谱简图 2
图3 Cu、Au和Al三个参考物质的直接谱和微分谱(相对能量分辨率0.3%) 5
表1 参考物质的俄歇电子动能参考值 4
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准由全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC38)提出并归口。
本标准起草单位:清华大学化学系。
本标准主要起草人:姚文清、李展平、曹立礼、朱永法。
俄歇电子能谱分析方法通则
1 范围
分析方法。
本标准适用于俄歇电子能谱仪。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 22461-2008 表面化学分析 词汇
ISO 18118:2002(E) 表面化学分析 AES和XPS均匀材料定量分析所用的实验相对灵敏度因
ISO/T R18394:2006 表面化学分析 俄歇电子能谱 化学信息来源(SurfaceChemical
ISO/T R19319:2003 表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子谱 分析者对于横向分辨
3 术语和定义
GB/T 22461-2008界定的术语和定义适用于本文件。
4 方法原理
用一定能量的电子碰撞原子,使原子内层电子电离,这样在原子内层轨道上出现一个空位,形成了
激发态......
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