路径: 主页 > SJ/T > 第17页 > SJ/T 31082-1994 | 标准编号 | SJ/T 31082-1994 (SJ/T31082-1994) | | 中文名称 | 真空镀膜设备完好要求和检查评定方法 | | 英文名称 | Requirements of readiness and methods of inspection and assessment for vacuum coating equipment | | 行业 | 电子行业标准 (推荐) | | 中标分类 | L96 | | 字数估计 | 3,368 | | 发布日期 | 4/15/1994 | | 实施日期 | 6/1/1994 | | 范围 | 本标准规定了真空镀膜设备的完好要求和检查、评定方法。本标准适用于极限压力在1×10^(-5)～1×10^(-4)pa范围内的各种型号真空镀膜设备。 | ......
|