路径: 主页 > SJ > 第12页 > SJZ2926-1988 | 标准编号 | SJ/Z 2926-1988 (SJ/Z2926-1988) | | 中文名称 | 集成电路制版设备性能测试方法 | | 英文名称 | Test methods for properties of mask-making equipment for manufacturing of ICs | | 行业 | 电子行业标准 | | 中标分类 | L99 | | 字数估计 | 19,118 | | 发布日期 | 3/10/1988 | | 实施日期 | 10/1/1988 | | 标准依据 | 工科(2010) 第77号 | | 范围 | 本指导性技术文件适用于自动刻(绘)图机、图形发生器、精缩照相机三类光学制版设备主要性能测试方法。测试目的在于检查设备的技术性能指标是否达到原设计或使用要求。本指导性技术文件未规定的性能测试方法, 应在各类设备技术文件中另行规定。 | ......
|