GB/T 16524-1996 相关标准英文版PDF
| 标准号码 | 价格美元 | 第2步(购买) | 交付天数 | 标准名称 |
| GB/T 16524-1996 | 159 | GB/T 16524-1996 | [PDF]天数 <=2 | 光掩模对准标记规范 |
| 基本信息 | |
|---|---|
| 标准编号 | GB/T 16524-1996 (GB/T16524-1996) |
| 中文名称 | 光掩模对准标记规范 |
| 英文名称 | Specification for registration marks for photomasks |
| 行业 | 国家标准 (推荐) |
| 中标分类 | L55 |
| 国际标准分类 | 31.2 |
| 字数估计 | 4,449 |
| 发布日期 | 9/9/1996 |
| 实施日期 | 5/1/1997 |
| 引用标准 | SJ/T 10152-1991; SJ/T 10584-1994, |
| 采用标准 | SEMI P6-1988, MOD |
| 发布机构 | 国家技术监督局 |
| 范围 | 本标准规定了所有光掩模上使用的对准标记的形状、尺寸范围和一般位置。本标准适用于光掩模。 |
......