| 标准编号 | GB/T 20726-2025 (GB/T20726-2025) | | 中文名称 | 微束分析 扫描电子显微镜（SEM）或电子探针显微分析仪（EPMA）用X射线能谱仪（EDS）主要性能参数及核查方法 | | 英文名称 | Microbeam analysis - Selected instrumental performance parameters for the specification and checking of energy-dispersive X-ray spectrometers(EDS)for use with a scanning electron microscope (SEM)or an electron probe microanalyser(EPMA) | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | N33 | | 国际标准分类 | 71.040.99 | | 字数估计 | 18,173 | | 发布日期 | 2025-08-29 | | 实施日期 | 2026-03-01 | | 旧标准 (被替代) | GB/T 20726-2015 | | 发布机构 | 国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会 | GB/T 20726-2025: 微束分析 扫描电子显微镜（SEM）或电子探针显微分析仪（EPMA）用X射线能谱仪（EDS）主要性能参数及核查方法
ICS 71.040.99
CCSN33
中华人民共和国国家标准
代替GB/T 20726-2015
微束分析 扫描电子显微镜(SEM)或
电子探针显微分析仪(EPMA)用X射线
能谱仪(EDS)主要性能参数及核查方法
(ISO 15623:2021,IDT)
2025-08-29发布 2026-03-01实施
国 家 市 场 监 督 管 理 总 局
国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 发 布
目次
前言 Ⅲ
引言 Ⅳ
1 范围 1
2 规范性引用文件 1
3 术语和定义 1
4 要求 3
4.1 通则 3
4.2 能量分辨率 3
4.3 死时间 4
4.4 峰背比 4
4.5 仪器检测效率的能量相关性 4
5 其他性能参数核查 4
5.1 概述 4
5.2 能量标尺和分辨率的稳定性 4
5.3 堆积效应 4
5.4 能谱仪性能的定期核查 5
附录A(规范性) 能谱仪能量分辨率的线宽(峰半高宽)测定 6
A.1 试样 6
A.2 试样制备 6
A.3 准备工作 6
A.4 测量条件 6
A.5 背底扣除 6
A.6 峰半高宽(FWHM)的计算 6
A.7 示例 7
附录B(规范性) 仪器检测效率的能量相关性指标L/K 比值的确定 9
B.1 试样 9
B.2 测量条件 9
B.3 L/K 比值的计算 9
B.4 ToA不等于35°时L/K 比值的转换 9
参考文献 11
前言
本文件按照GB/T 1.1-2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定
起草。
本文件代替GB/T 20726-2015《微束分析 电子探针显微分析X射线能谱仪主要性能参数及核
查方法》,与GB/T 20726-2015相比,除结构调整和编辑性改动外,主要技术变化如下:
---更改了“死时间”的定义,使之更为详细(见3.4,2015年版的3.4);
---增加了“术语和定义”的内容:零峰(见3.14);
---更改了对“能量分辨率”“死时间”和“峰背比”的要求(见第4章,2015年版的第4章)。
本文件等同采用ISO 15632:2021《微束分析 扫描电子显微镜(SEM)或电子探针显微分析仪(EP-
MA)用X射线能谱仪(EDS)主要性能参数及核查方法》。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC38)提出并归口。
本文件起草单位:中国科学院地质与地球物理研究所、核工业北京地质研究院、中国科学院化学研
究所。
本文件主要起草人:毛骞、范光、王岩华、曾荣树、原江燕。
本文件及其所代替文件的历次版本发布情况为:
---2006年首次发布为 GB/T 20762-2006,2015年第一次修订;
---本次为第二次修订。
引 言
基于探测器晶体制造技术的改进和先进脉冲处理技术的应用,X射线能谱仪(EDS)技术的进步增
强了能谱仪的总体性能,特别是在高计数率和低能量(低于1keV)区域的性能方面。硅漂移探测器
(SDD)技术已经成功地取代了硅-锂探测器,即使在相当高的计数率下,该技术也能与硅-锂探测器相媲
美。此外,较小的检测器电容意味着能有更大面积的检测器和超高计数率的计测能力。因此,本文件更
新了评价此类现代化探测器的性能参数。
能谱仪的特性通常用高能下的能量分辨率来表示,定义为 MnKα峰半高宽(FWHM)。为了表示
在低能量范围的特性,生产厂家通常给出碳或氟K峰的半高宽或者零峰的半高宽。一些生产商也用峰
背比表示,即用55Fe谱线中峰与基线的比值或硼谱线中峰与谷的比值来确定。同一个量时常有不同的
定义。相对于高能量区而言,能谱仪在低能端的灵敏度很大程度上取决于探测晶体和X射线入射窗口
的设计。生产商通常不标示谱仪性能的能量相关关系,而低能端的高灵敏度对于分析轻元素化合物非
常重要。
为满足全球范围内制定EDS规范的最低要求,本文件进行了修订。能谱法是分析固体和薄膜化学
成分最常用的方法之一。依据本文件规定的同一参数,对不同设计的能谱仪性能进行比较,也有助于针
对特定的任务选择适用的能谱仪。另外,本文件也便于实验室间的比对。依照ISO/IEC 17025规
定[1],这些实验室要按规定的程序定期核查仪器的校准状态。本文件作为所有相关测试实验室制定此
类规程的指南。
微束分析 扫描电子显微镜(SEM)或
电子探针显微分析仪(EPMA)用X射线
能谱仪(EDS)主要性能参数及核查方法
1 范围
本文件规定了以半导体探测器、前置放大器和信号处理系统为基本构成的X射线能谱仪最重要的
特性参数。
本文件仅适用于使用基于固态电离原理的半导体探测器能谱仪。
本文件规定了与扫描电子显微镜(SEM)或电子探针显微分析仪(EPMA)联用的此类能谱仪性能
参数的最低要求及核查方法。用于能谱分析的程序,已由ISO 22309[2]和 ASTME1508[3]规范,不在本
文件范围之内。
2 规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文
件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于
本文件。
copy-Vocabulary)
注:GB/T 23414-2009 微束分析 扫描电子显微术 术语 (ISO 22439:2008,IDT)
ISO 23833 微束分析 电子探针显微分析(EPMA) 术语[Microbeamanalysis- Electron
注:GB/T 21636-2021 微束分析 电子探针显微分析(EPMA) 术语 (ISO 23833:2013,IDT)
3 术语和定义
ISO 23833、ISO 22493界定的以及下列术语和定义适用于本文件。
注:除3.1、3.2、3.2.1、3.2.2、3.9、3.11、3.12、3.13和3.14外,其他都按ISO 22309[2],ISO 18115-1[4]和ISO 23833相同
或相似的形式定义。
3.1
X射线能谱仪 energy-dispersiveX-rayspectrometer
通过记录整个X射线谱图来测定作为辐射能量函......
|