| 标准编号 | GB/T 26571-2011 (GB/T26571-2011) | | 中文名称 | 特种气体储存期规范 | | 英文名称 | Specification for the shelf life of a specialty gas | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | G08 | | 国际标准分类 | 71.040.10 | | 字数估计 | 6,663 | | 发布日期 | 2011-06-16 | | 实施日期 | 2011-11-01 | | 标准依据 | 国家标准批准发布公告2011年第9号 | | 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | | 范围 | 本标准规定了各种特种气体至少应达到的储存期。本标准适用于采用适当容器充装, 经分析后储存备用的特种气体, 也适用于由特种气体生产厂和供应商提供的气体, 在本标准中, 储存期是从质量的角度来考虑的, 本标准不涉及与延长储存有关的安全问题。 | GB/T 26571-2011
Specification for the shelf life of a specialty gas
ICS 71.040.10
G08
中华人民共和国国家标准
特种气体储存期规范
2011-06-16发布
2011-11-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布
前言
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会(SAC/TC203/SC1)归口。
本标准起草单位:西南化工研究设计院。
本标准主要起草人:周鹏云。
特种气体储存期规范
1 范围
本标准规定了各种特种气体至少应达到的储存期。
本标准适用于采用适当容器充装,经分析后储存备用的特种气体,也适用于由特种气体生产厂和供
应商提供的气体。在本标准中,储存期是从质量的角度来考虑的。本标准不涉及与延长储存有关的安
全问题。
2 术语和定义
下列术语和定义适用于本标准。
2.1
剩余量 residuallevel
留在容器中的以质量或压力计的剩余产品量。该量应尽量少,以最大限度降低上次充填气体中高
含量杂质对制作工艺的影响。
2.2
储存期 shelflife
从分析完成的时间起,供应商保证气体质量的期限。在这个期限内,应保证准确分析过的杂质含量
保持或低于某一特定等级气体规定的技术指标上限。
2.3
液干 liquiddry
液化气体中所有的液相用完。
3 要求
3.1 影响特种气体储存期的因素
3.1.1 气体的热稳定性。
3.1.2 容器和阀门的质量
---材料选择;
---气密性。
3.1.3 气体与不同物质的共存稳定性
---气体和杂质;
---气体和包装材料。
3.1.4 充装和分析操作。
3.1.5 运输和储存条件。
3.1.6 容器中产品的量。
3.1.7 阀门的气密性是决定气体储存期的关键因素,特别是对于低压气体。为有效提高气体与不同物
质的共存稳定性,......
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