| 标准编号 | GB/T 30434-2013 (GB/T30434-2013) | | 中文名称 | 电阻真空计通用技术条件 | | 英文名称 | General specifications for resistance vacuum gauge | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | N68 | | 国际标准分类 | 23.160 | | 字数估计 | 13,133 | | 引用标准 | GB/T 191-2008; GB/T 2829-2002; GB/T 3369.1-2008; GB/T 3369.2-2008; GB 4793.1-2007; GB/T 4982-2003; GB/T 6107-2000; GB/T 11014-1989; GB/T 25480-2010; JJG 2022-2009; ANSI/EIA/TIA 574-1990 | | 标准依据 | 国家标准公告2013年第27号 | | 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | | 范围 | 本标准规定了电阻真空计的术语和定义、使用条件、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存。本标准适用于压力指示范围为1.0×10(-1)Pa～1.O×10(5)Pa(测量范围为5.0×10(-1)Pa～3.O×10(3)Pa)的电阻真空计(以下简称真空计)。 | GB/T 30434-2013
General specifications for resistance vacuum gauge
ICS 23.160
N68
中华人民共和国国家标准
电阻真空计通用技术条件
2013-12-31发布
2014-08-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准由中国机械工业联合会提出。
本标准由全国实验室仪器和设备标准化技术委员会(SAC/TC526)归口。
本标准起草单位:北京北仪创新真空技术有限责任公司、机械工业仪器仪表综合技术经济研究所、
上海市计量测试技术研究院、上海云捷真空仪器有限公司、成都睿宝电子科技有限公司、沈阳仪表科学
研究院、上海维可电真空技术开发有限公司、成都国光电气股份有限公司。
本标准主要起草人:徐自勇、金丽辉、许红、陈建沪、贺良武、徐秋玲、陈凌云、李泞。
电阻真空计通用技术条件
1 范围
本标准规定了电阻真空计的术语和定义、使用条件、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输
和贮存。
本标准适用于压力指示范围为1.0×10-1Pa~1.0×105Pa(测量范围为5.0×10-1Pa~3.0×103Pa)
的电阻真空计(以下简称真空计)。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 191-2008 包装储运图示标志
GB/T 2829-2002 周期检验计数抽样程序及表(适用于对过程稳定性的检验)
GB/T 3369.1-2008 过程控制系统用模拟信号 第1部分:直流电流信号
GB/T 3369.2-2008 过程控制系统用模拟信号 第2部分:直流电压信号
GB 4793.1-2007 测量、控制和实验室用电气设备的安全要求 第1部分:通用要求
GB/T 4982-2003 真空技术 快卸连接器 尺寸 第1部分:夹紧型
GB/T 6107-2000 使用串行二进制数据交换的数据终端设备和数据电路终接设备之间的接口
GB/T 11014-1989 平衡电压数字接口电路的电气特性
GB/T 25480-2010 仪器仪表运输、贮存基本环境条件及试验方法
JJG2022-2009 真空计量器具
ANSI/EIA/T IA574-1990 使用串联二进制数据交换的数据终端设备和数据电路端接设备之间
的同步接口
3 术语和定义
GB/T 3163-2007界定的术语和定义适用于本文件。为了便于使用,以下重复列出了
GB/T 3163-2007中的一些术语和定义。
3.1
真空计 vacuumgauge
测量低于大气压力的气体或蒸汽压力的仪器。
注:通常使用的某些真空计实际上不测量压力(术语中它是以作用在表面上的力来表达的),而是测量在规定条件
下与压力有关的某些其他物理量。
[GB/T 3163-2007,定义4.1.2]
3.2
规管 gaugehead
规头
电阻真空计中,包含压力敏感元件并直接与真空系统连接的部件。
[GB/T 3163-2007,定义4.1.2.1]
3.3
真空计控制单元 gaugecontrolunit
电阻真空计中,包含电源和测量、控制及输出等功能所需的部件。
[GB/T 3163-2007,定义4.1.2.2]
3.4
真空计指示单元 gaugeindicatingunit
电阻真空计中,以压力为单位显示输出信号的部件。
[GB/T 3163-2007,定义4.1.2.21]
4 使用条件
4.1 环境温度:0℃~40℃。
4.2 相对湿度:不大于85%。
4.3 供电电源:交流额定电压220V,允许偏离额定值的范围为±10%(采用模块电源的允许在交流电
压为85V~265V的范围内工作);额定频率:50Hz,允许偏离额定值的范围为±2%。
4.4 周围无强烈振动、灰尘、强电磁干扰和腐蚀性气体。
5 要求
5.1 外观
5.1.1 规管外壳应无裂纹、锈斑或明显的气线、气泡等缺陷。
5.1.2 真空计的开关、按钮、指示灯、插头(座)、熔断器、电缆和附件等均应齐全、完好。
5.1.3 真空计所有紧固件应牢靠,不应松动脱落。
5.1.4 真空计机箱表面应平整、光洁,无明显涂层剥落、锈蚀等现象。
5.2 规管
5.2.1 电阻值
5.2.1.1 当规管热丝电阻冷态电阻值在10Ω~50Ω时,其电阻值不应超过规管设计要求值的±5%。
5.2.1.2 当规管热丝电阻冷态电阻值在51Ω~100Ω 时,其电阻值不应超过规管设计要求值
的±1.5%。
5.2.2 规管与真空系统的连接
5.2.2.1 规管连接部分为圆型管道时,管道的外径应为15.5mm±0.5mm。
5.2.2.2 规管连接部分为夹紧型真空快卸法兰时,应符合GB/T 4982-2003的要求。
5.2.3 密封性
规管对氦气的漏率不应大于10-8Pa·m3/s。
5.2.4 绝缘电阻
规管引出线与金属外壳之间的绝缘电阻不应小于10MΩ。
5.3 整机性能
5.3.1 指示范围
指示范围为1.0×10-1Pa~1.0×105Pa。
5.3.2 测量范围内相对误差
5.3.2.1 测量范围为5.0×10-1Pa~3.0×103Pa。
5.3.2.2 测量范围内示值相对误差不应超过±50%。
5.3.3 稳定性
5.3.3.1 正式调整好开始,零点1h内漂移量不应超过测量范围下限值的±10%。
5.3.3.2 正式调整好开始,满度1h内漂移量不应超过指示范围上限值的±25%。
5.3.4 供电电源电压影响量
5.3.4.1 供电电源电压在220V±22V范围内变化时,零点的漂移量不超过测量范围下限值的±5%。
5.3.4.2 供电电源电压在220V±22V范围内变化时,满度的漂移量不超过指示范围上限值的±5%。
5.3.5 安全性能
5.3.5.1 在采用规定值的介电强度电压试验时,真空计不应出现击穿或重复飞弧现象(电晕效应和类似
现象可忽略不计)。
5.3.5.2 真空计供电电源端子与机箱外壳之间的绝缘电阻,在电源开关闭合情况下不应小于10MΩ。
5.3.6 模拟量输出信号
当真空计有模拟量输出信号时,应满足下列要求:
a) 真空计模拟直流电流信号范围应符合GB/T 3369.1-2008的要求;
b) 真空计模拟直流电压信号范围应符合GB/T 3369.2-2008的要求。
5.3.7 开关量输出接口与通信接口
5.3.7.1 当真空计有开关量输出接口时,应满足下述要求:
a) 应注明接口的电气性能,如,有源或无源触点输出、触点的功率参数等;
b) 应注明接口的各个引线的序号和功能。
5.3.7.2 当真空计有通信接口时,应满足下述要求:
a) 真空计的数字通信接口,应优先采用RS232、RS485和RS422接口;
b) 采用25针和RS232C/RS485接口应符合GB/T 6107-2000的要求;
c) 采用9针RS232C/RS485接口应符合ANSI/EIA/T IA574-1990的要求;
d) 采用RS422接口应符合GB/T 11014-1989的要求。
5.3.8 抗运输环境性能
真空计在包装完好状态下,模拟运输、贮存基本环境条件进行高温试验、低温试验、湿热试验和跌落
试验,试验结束后,打开包装,真空计应完好无损,其结果应符合5.1、5.2和5.3的要求。
5.3.9 规管完好性判断
当真空计不接规管或规管损坏时,真空计应有特别指示(具体提示方法由制造商在技术文件中给
式中:
δ ---相对误差;
Pm ---被校真空计指示值;
Pr ---标准真空计压力值。
6.4.3 稳定性及供电电源电压影响量试验
6.4.3.1 仪器在试验前,预热时间不应少于30min。将真空计配用的真空规与真空系统连接,在真空
室处于大气压力下调节好真空计的满度,在真空室真空度高于1.0×10-2Pa的某一稳定压力时,调节好
真空计的零点。再将真空室处于大气压力下重新调节好真空计的满度,在真空室真空度高于
1.0×10-2Pa的某一稳定压力时,重新调节好真空计的零点。重复上述过程2次~3次,确认调节好真
空计的满度和零点。
6.4.3.2 调好零点,1h后观察真空计指示值的漂移量,结果应符合5.3.3.1的规定。
6.4.3.3 调好满度,1h后观察真空计指示值的漂移量,结果应符合5.3.3.2的规定。
6.4.3.4 调好零点,维持系统压力不变,令供电电源电压在220V±22V范围内变化,真空计指示值的
漂移量应符合5.3.4.1的规定。
6.4.3.5 调好满度,维持系统压力不变,令供电电源电压在220V±22V范围内变化,真空计指示值的
漂移量应符合5.3.4.2的规定。
6.4.4 安全性能试验
6.4.4.1 介电强度试验按GB 4793.1-2007中6.8的规定进行,其结果应符合5.3.5.1的规定。
6.4.4.2 用500V绝缘电阻表测量真空计供电电源端子与机箱外壳之间的绝缘电阻,其结果应符合
5.3.5.2的规定。
6.4.5 模拟量输出信号试验
6.4.5.1 用0.5级直流电压表对输出模拟直流电压信号按制造商在技术文件中的规定进行检测。
6.4.5.2 用0.5级直流电流表对输出模拟直流电流信号按制造商在技术文件中的规定进行检测。
6.4.6 开关量输出接口与通信接口试验
按制造商在技术文件中的规定进行检测。
6.4.7 抗运输环境性能试验
真空计在包装完好情况下,按GB/T 25480-2010的要求进行。其中:
a) 高温试验选用:55℃±2℃;
b) 低温试验选用:-25℃±2℃;
c) 湿热试验选用:相对湿度(25℃)95%;
d) 跌落试验选用:自由跌落高度250mm。
6.4.8 规管完好性判断试验
6.4.8.1 不接规管直接开机,按制造商在技术文件中的规定检查是否有特别指示。
6.4.8.2 连接好规管开机,记录当时的输出状态。将规管拔掉,再次记录此时的输出状态。检查这两次
记录的输出状态是否改变,按制造商在技术文件中的规定检查是否有特别指示。
7 检验规则
7.1 检验分类
真空计的检验分为:
a) 出厂检验;
b) 定型检验;
c) 周期检验。
7.2 出厂检验
7.2.1 出厂检验由生产厂质量检验部门逐台检验,合格后签发产品合格证,方可出厂。
7.2.2 出厂检验的项目、要求及试验方法的条款号见表1。
表1
序号 检验项目
要求的
条款号
试验方法的
条款号
出厂检验 定型检验 周期检验
1 外观 5.1 6.2 ● ● ●
2 规管 5.2 6.3 ● ● ●
3 指示范围 5.3.1 6.4.1 ● ● ●
4 测量范围内相对误差 5.3.2 6.4.2 ● ● ●
5 稳定性 5.3.3 6.4.3 ● ● ●
6 供电电源电压影响量 5.3.4 6.4.3 ● ● ●
7 安全性能 5.3.5 6.4.4 ● ● ●
8 模拟量输出信号 5.3.6 6.4.5 - ● ●
9 开关量输出接口与通信接口 5.3.7 6.4.6 - ● ●
10 抗运输环境性能 5.3.8 6.4.7 - ● ●
11 规管完好性判断 5.3.9 6.4.8 - ● ●
注:“●”表示应检验的项目;“-”表示不必检验的项目。
7.3 定型检验
7.3.1 具有以下情形之一,应进行定型检验:
a) 新产品设计定型或生产定型时;
b) 老产品转厂生产时;
c) 产品的设计、结构、工艺、材料有较大变动且有可能影响产品性能时;
d) 质量监督机构要求时。
7.3.2 定型检验的样本为3台,检验项目见表1,所有项目应符合规定的要求。
7.3.3 定型检验由制造厂质量检验部门执行,也可委托质量检验技术机构执行,应出具定型检验报告。
7.3.4 经定型检验合格的真空计应整修,更换寿命终了或接近终了的零部件,并重新进行出厂检验。
检验合格后签发产品合格证,允许出厂。
7.4 周期检验
7.4.1 通则
在下列情况之一时进行周期检验:
a) 正常生产时每两年进行不少于一次的检验;
b) 产品停产一年后,恢复生产时;
c) 出厂检验结果与上次周期检验有较大差异时;
d) 质量监督机构要求时。
7.4.2 检验项目
周期检验的项目、要求及试验方法的条款号见表1。
7.4.3 抽样方案及判定规则
7.4.3.1 周期检验采用GB/T 2829-2002中判别水平Ⅰ的一次抽样方案。
7.4.3.2 周期检验项目的不合格分类、不合格质量水平(RQL)、判别水平(DL)及判定数组(Ac,Re)见
表2。
表2
序号
不合格
分类
检验项目及条款号
项 目 条款号
不合格质量
水平(RQL)
判别水
平(DL)
抽样方案
样本量n判定数组(Ac,Re)
规管
指示范围
测量范围内相对误差
稳定性
供电电源电压影响量
安全性能
模拟量输出信号
开关量输出接口与通信接口
抗运输环境性能
规管完好性判断
外观
5.2
5.3.1
5.3.2
5.3.3
5.3.4
5.3.5
5.3.6
5.3.7
5.3.8
5.3.9
5.1
Ⅰ 3
(0,1)
(1,2)
7.4.3.3 周期检验按GB/T 2829-2002的规定进行合格或不合格判断,其中批质量以每百单位产品不
......
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