| 标准编号 | GB/T 34612-2017 (GB/T34612-2017) | | 中文名称 | 蓝宝石晶体X射线双晶衍射摇摆曲线测量方法 | | 英文名称 | Measurement method for X-ray double crystal diffraction rocking curve of sapphire crystals | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | H21 | | 国际标准分类 | 77.040 | | 字数估计 | 10,169 | | 发布日期 | 2017-10-14 | | 实施日期 | 2018-05-01 | | 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | GB/T 34612-2017
Measurement method for X-ray double crystal diffraction rocking curve of sapphire crystals
ICS 77.040
H21
中华人民共和国国家标准
蓝宝石晶体X射线双晶衍射摇摆曲线
测量方法
2017-10-14发布
2018-05-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准
化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口。
本标准起草单位.中国科学院上海光学精密机械研究所、上海大恒光学精密机械有限公司、中国科
学院新疆理化技术研究所、新疆紫晶光电技术有限公司、江苏浩瀚蓝宝石科技有限公司、丹东新东方晶
体仪器有限公司。
本标准主要起草人.杭寅、徐民、潘世烈、张方方、赵兴俭、郭宏鹤、赵松彬。
蓝宝石晶体X射线双晶衍射摇摆曲线
测量方法
1 范围
本标准规定了蓝宝石晶体X射线双晶衍射摇摆曲线的测量方法。
本标准适用于蓝宝石晶体X射线双晶衍射摇摆曲线的测量。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 14264 半导体材料术语
3 术语和定义
GB/T 14264界定的以及下列术语和定义适用于本文件。
3.1
χ轴 χaxis
倾斜样品的轴,由入射X射线、衍射X射线束构成的衍射平面与样品表面相交而成。
3.2
χ角 χangle
样品某晶面与样品表面的夹角。
3.3
φ角 φangle
样品台绕样品表面法线旋转的角度。
3.4
φ扫描 φscan
连续改变φ角并记录衍射强度的测量模式。
3.5
ω 角 ωangle
入射X射线与样品表面夹角。
3.6
ω 扫描 ωscan
连续改变ω角并记录衍射强度的测量模式。
4 方法提要
4......
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