| 标准编号 | GB/T 35306-2023 (GB/T35306-2023) | | 中文名称 | 硅单晶中碳、氧含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法 | | 英文名称 | Determination of carbon and oxygen content in single crystal silicon - Low temperature fourier transform infrared spectrometry method | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | H17 | | 国际标准分类 | 77.040 | | 字数估计 | 10,140 | | 发布日期 | 2023-08-06 | | 实施日期 | 2024-03-01 | | 旧标准 (被替代) | GB/T 35306-2017 | | 发布机构 | 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会 | GB/T 35306-2023: 硅单晶中碳、氧含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法
ICS 77.040
CCSH17
中华人民共和国国家标准
代替GB/T 35306-2017
硅单晶中碳、氧含量的测定
低温傅立叶变换红外光谱法
2023-08-06发布
2024-03-01实施
国 家 市 场 监 督 管 理 总 局
国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 发 布
前言
本文件按照GB/T 1.1-2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定
起草。
本文件代替GB/T 35306-2017《硅单晶中碳、氧含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法》,与
GB/T 35306-2017相比,除结构调整和编辑性改动外,主要技术变化如下:
a) 更改了适用范围(见第1章,2017年版的第1章);
b) 更改了方法原理(见第4章,2017年版的第4章);
c) 更改了干扰因素(见第5章,2017年版的第5章);
d) 更改了仪器的波数范围(见7.1,2017年版的7.1);
e) 更改了样品及参比样品要求(见第8章,2017年版的第8章、第9章);
f) 更改了样品厚度要求(见9.2,2017年版的8.3);
g) 增加了代位碳、间隙氧的基线范围、积分范围及校准因子(见10.1);
h) 更改了试验数据处理(见第10章,2017年版的第11章);
i) 更改了精密度(见第11章,2017年版的第12章);
j) 删除了不同温度的碳、氧红外光谱吸收峰位置和标定因子(见2017年版的附录A)。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准
化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口。
本文件起草单位:青海芯测科技有限公司、隆基绿能科技股份有限公司、有色金属技术经济研究院
有限责任公司、青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司、洛阳中硅高科技有限公司、布鲁克
(北京)科技有限公司、亚洲硅业(青海)股份有限公司、宜昌南玻硅材料有限公司、陕西有色天宏瑞科硅
材料有限责任公司、新疆新特新能材料检测中心有限公司、弘元新材料(包头)有限公司、高景太阳能股
份有限公司。
本文件主要起草人:薛心禄、秦榕、李素青、杨晓青、邓浩、岳玉芳、李明珍、赵雄、张园园、赵跃、
雷浩东、蔡延国、陈卫国、路盛刚、徐岩、张遵、邱艳梅、李向宇、杨阳、徐志群、汪奇。
本文件于2017年首次发布,本次为第一次修订。
硅单晶中碳、氧含量的测定
低温傅立叶变换红外光谱法
1 范围
本文件描述了采用低温傅立叶变换红外光谱法测定硅单晶中代位碳、间隙氧含量的方法。
本文件适用于室温电阻率大于1Ω·cm的n型硅单晶和室温电阻率大于3Ω·cm的p型硅单晶
中代位碳、间隙氧含量的测定,测定范围(以原子数计)为2.5×1014cm-3~1.5×1017cm-3。
2 规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文
件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于
本文件。
GB/T 8170 数值修约规则与极限数值的表示和判定
GB/T 8322 分子吸收光谱法 术语
GB/T 14264 半导体材料术语
GB/T 29057 用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程
3 术语和定义
GB/T 8322和GB/T 14264界定的以及下列术语和定义适用于本文件。
3.1
背景光谱 backgroundspectrum
在红外光谱仪中,无样品存在的情况下使用单光束测量获得的谱线。
注:通常包括氮气、空气等信息。
3.2
参比光谱 referencespectrum
参比样品的光谱。
注:在用双光束光谱仪测试时,将参比样品置于样品光路,参比光路空着时获得;在用傅立叶变换红外光谱仪及单
光束光谱仪时,用参比样品的光谱扣除背景光谱后获得。
3.3
样品光谱 samplespectrum
测试样品的光谱。
注:在用双光束仪器,将样品放置于样品光路,参比光路空着时获得;在用傅立......
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