GB/T 38447-2020 相关标准英文版PDF
| 标准号码 | 价格美元 | 第2步(购买) | 交付天数 | 标准名称 |
| GB/T 38447-2020 | 339 | GB/T 38447-2020 | [PDF]天数 <=4 | 微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法 |
| 基本信息 | |
|---|---|
| 标准编号 | GB/T 38447-2020 (GB/T38447-2020) |
| 中文名称 | 微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法 |
| 英文名称 | Micro-electromechanical system technology - Fatigue testing method of MEMS structure using resonant vibration |
| 行业 | 国家标准 (推荐) |
| 中标分类 | L55 |
| 国际标准分类 | 31.200 |
| 字数估计 | 18,117 |
| 发布日期 | 2020-03-06 |
| 实施日期 | 2020-07-01 |
| 发布机构 | 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会 |
GB/T 38447-2020
Micro-electromechanical system technology--Fatigue testing method of MEMS structure using resonant vibration
ICS 31.200
L55
中华人民共和国国家标准
微机电系统(MEMS)技术
MEMS结构共振疲劳试验方法
2020-03-06发布
2020-07-01实施
国 家 市 场 监 督 管 理 总 局
国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 发 布
目次
前言 Ⅰ
1 范围 1
2 规范性引用文件 1
3 术语和定义 1
4 试验方法 1
4.1 总则 1
4.2 试验设备 1
4.3 试验环境 2
4.4 样品要求 2
4.5 试验条件 3
4.6 试验步骤 3
4.7 试验报告 4
附录A(资料性附录) 集成激振和检测结构静电器件的试验示例 5
附录B(资料性附录) 外部驱动和集成应变结构(检测位移)器件的试验示例 8
附录C(资料性附录) 基于帕里斯(Paris)定律和韦伯(Weibul)分布的脆性材料疲劳寿命理论
表达式 10
附录D(资料性附录) 分析示例 13
参考文献 15
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准由全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC336)提出并归口。
本标准起草单位:北京大学、中机生产力促进中心、北京智芯传感科技有限公司、沈阳国仪检测技术
有限公司、浙江博亚精密机械有限公司、中北大学、北京必创科技股份有限公司。
本标准主要起草人:张威、张亚婷、于振毅、陆学贵、朱悦、石云波、李海斌、程逸轩、周浩楠、陈得民。
微机电系统(MEMS)技术
MEMS结构共振疲劳试验方法
1 范围
本标准规定了 MEMS结构共振疲劳试验的试验方法,包括设备、试验环境、样品要求、试验条件和
试验步骤。
本标准适用于 MEMS结构的共振疲劳试验。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 2298 机械振动、冲击与状态监测 词汇
GB/T 10623 金属材料 力学性能试验术语
GB/T 26111 微机电系统(MEMS)技术 术语
3 术语和定义
GB/T 2298、GB/T 10623、GB/T 26111界定的以及下列术语和定义适用于本文件。
3.1
载荷比 loadratio
周期加载中最大值和最小值的代数比。
3.2
静态试验或共振振动试验在快速幅值增长过程中的破坏强度。
3.3
参考强度 referencestrength
静态强度或瞬时破坏强度。
4 试验方法
4.1 总则
通过对样品施加预期振动幅值的共振振动进行疲劳试验。当......