| 标准编号 | GB/T 39144-2020 (GB/T39144-2020) | | 中文名称 | 氮化镓材料中镁含量的测定 二次离子质谱法 | | 英文名称 | Test method for magnesium content in gallium nitride materials - Secondary ion mass spectrometry | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | H17 | | 国际标准分类 | 77.040 | | 字数估计 | 6,656 | | 发布日期 | 2020-10-11 | | 实施日期 | 2021-09-01 | | 标准依据 | 国家标准公告2020年第21号 | | 发布机构 | 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会 | GB/T 39144-2020
Test method for magnesium content in gallium nitride materials -- Secondary ion mass spectrometry
ICS 77.040
H17
中华人民共和国国家标准
氮化镓材料中镁含量的测定
二次离子质谱法
2020-10-11发布
2021-09-01实施
国 家 市 场 监 督 管 理 总 局
国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 发 布
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准
化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口。
本标准起草单位:中国电子科技集团公司第四十六研究所、北京聚睿众邦科技有限公司、东莞市中
镓半导体科技有限公司、有色金属技术经济研究院、厦门市科力电子有限公司。
本标准主要起草人:马农农、何友琴、陈潇、刘立娜、何烜坤、杨素心、闫方亮、杨丽霞、颜建锋、
倪青青。
氮化镓材料中镁含量的测定
二次离子质谱法
1 范围
本标准规定了氮化镓材料中镁含量的二次离子质谱测试方法。
本标准适用于氮化镓材料中镁含量的定量分析,测定范围为不小于5×1014cm-3。
注:氮化镓材料中的镁含量以每立方厘米中的原子数计。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。
凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 14264 半导体材料术语
GB/T 22461 表面化学分析 词汇
GB/T 32267 分析仪器性能测定术语
3 术语和定义
GB/T 14264、GB/T 22461和GB/T 32267界定的术语和定义适用于本文件。
4 方法原理
在高真空(真空度优于10-6Pa)条件下,氧离子源产生的一次离子,经过加速、纯化、聚焦后,轰击氮
化镓样品表面,溅射出多种粒子。将其中的离子(即二次离子)引出,通过质谱仪将不同质荷比的离子分开,
记录并计算样品中镁与镓的离子计数率之比,利用相对灵敏度因子定量分析并计算出氮化镓材料中的镁含量。
5 干扰因素
5.1 二次离子质谱仪存在记忆效应,若测试过镁含量较高的样品,仪器样品室内会残留高含量镁,影响镁含量的测试结果。
5.2 仪器型号不同或者同一仪器的状态不同(例如电子倍增器效率、光圈大小、一次束流大小、聚焦状
态等),会影响本方法的检出限。
5.3 在样品架窗口范围内的样品分析面应平整,以保证每个样品移动到分析位置时,其表面与离子收
集光学系统的倾斜度不变,否则会降低测试的准确度。
5.4 样品表面吸附的镁离子可能影响镁含量的测试结果。
5.5 测试的准确度随着样品的表面粗糙度增大而显著降低,应通......
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