| 标准编号 | GB/T 43663-2024 (GB/T43663-2024) | | 中文名称 | 表面化学分析 二次离子质谱 静态二次离子质谱相对强度标的重复性和一致性 | | 英文名称 | Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Repeatability and constancy of the relative-intensity scale in static secondary-ion mass spectrometry | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | G04 | | 国际标准分类 | 71.040.40 | | 字数估计 | 18,142 | | 发布日期 | 2024-03-15 | | 实施日期 | 2024-10-01 | | 发布机构 | 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会 | GB/T 43663-2024: 表面化学分析 二次离子质谱 静态二次离子质谱相对强度标的重复性和一致性
ICS 71.040.40
CCSG04
中华人民共和国国家标准
表面化学分析 二次离子质谱
静态二次离子质谱相对强度标的
重复性和一致性
staticsecondary-ionmassspectrometry
2024-10-01实施
国 家 市 场 监 督 管 理 总 局
国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 发 布
目次
前言 Ⅲ
引言 Ⅳ
1 范围 1
2 规范性引用文件 1
3 术语和定义 1
4 符号和缩略语 1
5 方法概述 2
6 确认强度标重复性和一致性的方法 3
附录A(资料性) 静态SIMS常规工作条件示例 11
参考文献 12
前言
本文件按照GB/T 1.1-2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定
起草。
本文件等同采用ISO 23830:2008《表面化学分析 二次离子质谱 静态二次离子质谱相对强度标
的重复性和一致性》。
本文件增加了“规范性引用文件”和“术语和定义”两章。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC38)提出并归口。
本文件起草单位:北京师范大学、清华大学、中国科学院物理研究所、中国计量科学研究院、北京化
工大学。
本文件主要起草人:吴正龙、李展平、陆兴华、王海、程斌。
引 言
静态二次离子质谱(SIMS)广泛应用于混合材料的表面分析,常用于鉴别材料表面物质和混合物的
定量分析,如表面功能化的聚合物共混物。通过测量谱峰相对强度同时与参考样品的对应谱峰比较,进
行定量分析。在这些测量中,为了判断所观测的任何变化是否有意义,重复性至关重要。对于建立过往
测量工作与数据库间相关性及确定仪器工作状态,相对强度的一致性至关重要。多数静态SIMS测
量,通过与谱图库中谱图比较,鉴别未知物。测量是否有意义,依赖于仪器的重复性和稳定性。本文件
是针对静态SIMS仪器本身影响强度测量不确定度的两个重要方面:正离子相对强度测量的重复性和
正离子相对强度随时间的漂移。对于负离子,还无法控制绝缘体表面电势以得到足够好的重复性。因
此,本文件不包括负离子,但是如果能控制好表面电势,所述概念对负离子有可能也适用。
对于分析相似样品间的变化趋势和差异,重复性是重要的。重复性差,会给出样品存在明显差异的
错误结论。影响仪器测量重复性的因素包括离子源的稳定性、电荷稳定性、探测器设置、仪器对样品位
置的敏感性、数据采集参数和数据处理程序。
本文件提供了一种确认仪器相对强度标重复性和一致性的简单方法,用以评估仪器工作状态,并采
取可能的相关措施,如改进操作程序或重设仪器参数。所以,宜定期使用此方法,且最好在经仪器制造
厂商或其他相应机构验证的有效工作期间内使用。本方法所使用样品为聚四氟乙烯(简称PTFE),适
用于具有电荷稳定功能的静态SIMS仪器。
本方法没有涉及仪器的所有可能问题,因为涉及所有问题需要耗费很长测试时间,而且需要专业知
识和设备。本方法仅拟涉及静态SIMS相对强度标的重复性和漂移的常见基本问题。
表面化学分析 二次离子质谱
静态二次离子质谱相对强度标的
重复性和一致性
1 范围
本文件描述了常规分析中确认静态二次离子质谱正离子相对强度标的重复性和一致性的方法。
本文件适用于安装有荷电中和电子枪的仪器,不用于校正强度随质量变化的响应函数,校正可由仪
器制造厂商或其他机构进行。本文件提供数据以确认仪器使用时的相对强度一致性,提供可影响一致
性的一些仪器参数的设置指南。
2 规范性引用文件
本文件没有规范性引用文件。
3 术语和定义
本文件没有需要界定的术语和定义。
4 符号和缩略语
下列符号和缩略语适用于本文件。
A1:C3F3 和C2F5 组合峰的平均面积
A2:C7F13和C8F15组合峰的平均面积
A3:C14F27和C15F29组合峰的平均面积
d:束斑直径(μm)
e:电子电荷(C)
F:脉冲重复率或频率(s-1)(仅适用于飞行时间系统)
i:13个质量峰中第i个峰的标记
Iij:第i个质量峰和第j张谱的峰强度矩阵元
Ii:7张谱中谱峰的平......
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