| 标准编号 | GB/T 47089-2026 (GB/T47089-2026) | | 中文名称 | 蓝宝石图形化衬底表面图形几何参数的测定方法 | | 英文名称 | Test method for determining geometrical parameters of patterns on patterned sapphire substrate | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | H17 | | 国际标准分类 | 77.040 | | 字数估计 | 14,158 | | 发布日期 | 2026-01-28 | | 实施日期 | 2026-08-01 | | 发布机构 | 国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会 | GB/T 47089-2026: 蓝宝石图形化衬底表面图形几何参数的测定方法
ICS 77.040
CCSH17
中华人民共和国国家标准
蓝宝石图形化衬底表面图形几何参数的
测定方法
2026-01-28发布
2026-08-01实施
国 家 市 场 监 督 管 理 总 局
国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 发 布
前言
本文件按照GB/T 1.1-2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定
起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准
化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口。
本文件起草单位:广东中图半导体科技股份有限公司、徐州美兴光电科技有限公司、京东方华灿光
电股份有限公司、天通银厦新材料有限公司、松山湖材料实验室、南京同溧晶体材料研究院有限公司。
本文件主要起草人:张能、米波、肖桂明、朱晶、王子荣、朱广敏、康凯、鲁雅荣、王新强、徐军、袁冶。
蓝宝石图形化衬底表面图形几何参数的
测定方法
1 范围
本文件描述了蓝宝石图形化衬底表面图形几何参数的测定方法。
本文件适用于蓝宝石图形化衬底表面单个图形和图形阵列几何参数的测定。
2 规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文
件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于
本文件。
GB/T 14264 半导体材料术语
GB/T 25915.1-2021 洁净室及相关受控环境 第1部分:按粒子浓度划分空气洁净度等级
GB/T 43662 蓝宝石图形化衬底片
3 术语和定义
GB/T 14264和GB/T 43662界定的以及下列术语和定义适用于本文件。
3.1
点位 pointposition
蓝宝石图形化衬底测试位置按照几何中心定义原点坐标,依据不同位置的坐标所定位的测试点。
4 原理
4.1 反射率测定法
利用蓝宝石图形化衬底表面不同图形大小对应反射率数值的差异,获取反射率平均值、反射率最大
值、反射率最小值、反射率变异系数、反射率极差等特征值,对整体区域多个图形组成的阵列进行量测表
征,全面性评估。
4.2 原子力显微镜测定法
通过收集待测样品表面和一个微型力敏感元件之间的极微弱的原子间相互作用力来研究样品表面
的结构及性质,可直接测定蓝宝石图形化衬底表面图形几何参数中确定位置的图形高度、图形底宽。
4.3 扫描电子显微镜测定法
用聚焦的很窄的高能电子束扫描样品,通过光束与物质间的相互作用,激发各......
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