SJ/T 10478-1994 相关标准英文版PDF
| 标准号码 | 价格美元 | 第2步(购买) | 交付天数 | 标准名称 |
| SJ/T 10478-1994 | 349 | SJ/T 10478-1994 | [PDF]天数 <=3 | 磁控溅射设备通用技术条件 |
| 基本信息 | |
|---|---|
| 标准编号 | SJ/T 10478-1994 (SJ/T10478-1994) |
| 中文名称 | 磁控溅射设备通用技术条件 |
| 英文名称 | General specification for magnetic sputtering equipment |
| 行业 | 电子行业标准 (推荐) |
| 中标分类 | L98 |
| 字数估计 | 10,154 |
| 发布日期 | 4/11/1994 |
| 实施日期 | 10/1/1994 |
| 范围 | 本标准规定了磁控溅射设备的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存等。本标准适用于磁控溅射设备(以下简称“设备”)。 |
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