GB/T 17169-1997 相关标准英文版PDF

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GB/T 17169-1997	英文版	399	GB/T 17169-1997	[PDF]天数 <=3	硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法	GB/T 17169-1997	作废

基本信息
标准编号	GB/T 17169-1997 (GB/T17169-1997)
中文名称	硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法
英文名称	Test method for the surface quality of polished silicon wafers and epitaxial wafers by optical-reflection
行业	国家标准 (推荐)
中标分类	H82;H26
国际标准分类	29.045
字数估计	10,188
发布日期	12/22/1997
实施日期	8/1/1998
标准依据	National Standard Committee Bulletin (2005 No. 146)
发布机构	国家技术监督局

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