国家标准（推荐）: GB/T

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标准号码	标准名称
GB/T 20228-2021	砷化镓单晶
GB/T 11094-2020	水平法砷化镓单晶及切割片
GB/T 36706-2018	磷化铟多晶
GB/T 37053-2018	氮化镓外延片及衬底片通用规范
GB/T 35308-2017	太阳能电池用锗基Ⅲ-Ⅴ族化合物外延片
GB/T 35305-2017	太阳能电池用砷化镓单晶抛光片
GB/T 30652-2014	硅外延用三氯氢硅
GB/T 30656-2014	碳化硅单晶抛光片
GB/T 30854-2014	LED发光用氮化镓基外延片
GB/T 30855-2014	LED外延芯片用磷化镓衬底
GB/T 30856-2014	LED外延芯片用砷化镓衬底
GB/T 30858-2014	蓝宝石单晶衬底抛光片
GB/T 30866-2014	碳化硅单晶片直径测试方法
GB/T 30867-2014	碳化硅单晶片厚度和总厚度变化测试方法
GB/T 30868-2014	碳化硅单晶片微管密度的测定化学腐蚀法
GB/T 31092-2014	蓝宝石单晶晶锭
GB/T 11072-2009	锑化铟多晶、单晶及切割片
GB/T 11093-2007	液封直拉法砷化镓单晶及切割片
GB/T 11094-2007	水平法砷化镓单晶及切割片
GB/T 20228-2006	砷化镓单晶
GB/T 20229-2006	磷化镓单晶
GB/T 20230-2006	磷化铟单晶
GB/T 17170-1997	非掺杂半绝缘砷化镓单晶深能级EL2浓度红外吸收测试方法
GB/T 17169-1997	硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法
GB/T 15615-1995	硅片抗弯强度测试方法
GB/T 25074-2025	太阳能级硅多晶
GB/T 44334-2024	埋层硅外延片
GB/T 35307-2023	流化床法颗粒硅
GB/T 26069-2022	硅单晶退火片
GB/T 41325-2022	集成电路用低密度晶体原生凹坑硅单晶抛光片
GB/T 41652-2022	刻蚀机用硅电极及硅环
GB/T 12963-2022	电子级多晶硅
GB/T 40561-2021	光伏硅材料氧含量的测定脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法
GB/T 40566-2021	流化床法颗粒硅氢含量的测定脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法
GB/T 14139-2019	硅外延片
GB/T 29054-2019	太阳能电池用铸造多晶硅块
GB/T 29055-2019	太阳能电池用多晶硅片
GB/T 5238-2019	锗单晶和锗单晶片
GB/T 12964-2018	硅单晶抛光片
GB/T 12965-2018	硅单晶切割片和研磨片
GB/T 25076-2018	太阳能电池用硅单晶
GB/T 26071-2018	太阳能电池用硅单晶片
GB/T 25074-2017	太阳能级多晶硅
GB/T 35307-2017	流化床法颗粒硅
GB/T 35310-2017	200mm硅外延片
GB/T 32573-2016	硅粉总碳含量的测定感应炉内燃烧后红外吸收法
GB/T 32651-2016	采用高质量分辨率辉光放电质谱法测量太阳能级硅中痕量元素的测试方法
GB/T 12962-2015	硅单晶
GB/T 31854-2015	光伏电池用硅材料中金属杂质含量的电感耦合等离子体质谱测量方法
GB/T 12963-2014	电子级多晶硅
GB/T 30861-2014	太阳能电池用锗衬底片
GB/T 29504-2013	300 mm硅单晶
GB/T 29506-2013	300 mm硅单晶抛光片
GB/T 29508-2013	300 mm硅单晶切割片和磨削片
GB/T 29849-2013	光伏电池用硅材料表面金属杂质含量的电感耦合等离子体质谱测量方法
GB/T 29850-2013	光伏电池用硅材料补偿度测量方法
GB/T 29851-2013	光伏电池用硅材料中B、Al受主杂质含量的二次离子质谱测量方法
GB/T 29852-2013	光伏电池用硅材料中P、As、Sb施主杂质含量的二次离子质谱测量方法
GB/T 29054-2012	太阳能级铸造多晶硅块
GB/T 29055-2012	太阳电池用多晶硅片
GB/T 25074-2010	太阳能级多晶硅
GB/T 26072-2010	太阳能电池用锗单晶
GB/T 12963-2009	硅多晶
GB/T 14140-2009	硅片直径测量方法
GB/T 6620-2009	硅片翘曲度非接触式测试方法
GB/T 11069-2006	高纯二氧化锗
GB/T 11070-2006	还原锗锭
GB/T 11071-2006	区熔锗锭
GB/T 12962-2005	硅单晶
GB/T 12965-2005	硅单晶切割片和研磨片
GB/T 12964-2003	硅单晶抛光片
GB/T 19199-2003	半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的红外吸收测试方法
GB/T 16822-1997	介电晶体介电性能的试验方法
GB/T 12962-1996	硅单晶
GB/T 12963-1996	硅多晶
GB/T 12964-1996	硅单晶抛光片
GB/T 12965-1996	硅单晶切割片和研磨片
GB/T 15250-1994	压电铌酸锂单晶体声波衰减测试方法
GB/T 2881-1991	工业硅技术条件
GB/T 8646-1998	半导体键合铝-1%硅细丝
GB/T 8646-1988	半导体器件键合用铝硅合金(Alsil)丝
GB/T 39149-2020	回收碲原料
GB/T 39150-2020	回收硒原料
GB/T 2881-2014	工业硅
GB/T 2881-2008	工业硅
GB/T 15713-1995	锗单晶片
GB/T 5238-1995	锗单晶
GB/T 14140.1-1993	硅片直径测量方法光学投影法
GB/T 14145-1993	硅外延层堆垛层错密度测定干涉相衬显微镜法
GB/T 11070-1989	还原锗锭
GB/T 11071-1989	区熔锗锭
GB/T 11072-1989	锑化铟多晶、单晶及切割片
GB/T 11093-1989	液封直拉法砷化镓单晶及切割片
GB/T 11094-1989	水平法砷化镓单晶及切割片
GB/T 14264-2024	半导体材料术语
GB/T 29057-2023	用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程
GB/T 43612-2023	碳化硅晶体材料缺陷图谱
GB/T 16595-2019	晶片通用网格规范
GB/T 16596-2019	确定晶片坐标系规范
GB/T 14844-2018	半导体材料牌号表示方法