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| 标准编号 | GB/T 42274-2022 (GB/T42274-2022) | | 中文名称 | 氮化铝材料中痕量元素（镁、镓）含量及分布的测定 二次离子质谱法 | | 英文名称 | Determination of the content and distribution of trace elements (magnesium, gallium) in aluminum nitride materials - Secondary ion mass spectrometry | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | H17 | | 国际标准分类 | 77.040 | | 字数估计 | 10,130 | | 发布日期 | 2022-12-30 | | 实施日期 | 2023-04-01 | | 发布机构 | 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会 | GB/T 42274-2022
ICS 77.040
CCSH17
中华人民共和国国家标准
氮化铝材料中痕量元素(镁、镓)含量及
分布的测定 二次离子质谱法
2022-12-30发布
2023-04-01实施
国 家 市 场 监 督 管 理 总 局
国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 发 布
前言
本文件按照GB/T 1.1-2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定
起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准
化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口。
本文件起草单位:北京科技大学、中国科学院半导体研究所、有色金属技术经济研究院有限责任公
司、中国科学院青海盐湖研究所、青海圣诺光电科技有限公司。
本文件主要起草人:齐俊杰、魏学成、闫丹、李素青、卫喆、胡超胜、李志超、许磊、王军喜、李晋闽、
魏明、刘江华、张成荣。
氮化铝材料中痕量元素(镁、镓)含量及
分布的测定 二次离子质谱法
1 范围
本文件描述了氮化铝单晶中痕量镁和镓含量及分布的二次离子质谱测试方法。
本文件适用于氮化铝单晶中痕量镁和镓含量及分布的定量测定,测定范围为镁、镓的含量均不小于
1×1016cm-3,元素含量(原子个数百分比)不大于1%。
注:氮化铝单晶中待测元素的含量以每立方厘米中的原子个数计。
2 规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文
件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于
本文件。
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3 术语和定义
GB/T 14264、GB/T 22461、GB/T 25186、GB/T 32267界定的术语和定义适用于本文件。
4 方法原理
在高真空(真空度优于10-7Pa)条件下,氧离子源产生的一次离子,经过加速、纯化、聚焦后,轰击氮
化铝样品表面,溅射出多种粒子,将其中的二次离子引出,通过质谱仪将不同质荷比的离子分开,记录样
品中待测元素24Mg、69Ga和基质元素27Al的离子计数率之比。利用相对灵敏度因子定量分析并计算出
氮化铝单晶中待测元素的含量。
5 干扰因素
5.1 样品表面吸附的镁和镓可能影响其含量的测试结果,整个操作过程中应避免样品与外界过多的接
触,在放入腔体前用干燥氮气吹净。
5.2 二次离子质谱仪存在记忆效应,若测试过镁和镓含量较高的样品,仪器样品腔内可能会残留镁和
镓,影响镁和镓含量......
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