GB/T 47073-2026 相关标准英文版PDF

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GB/T 47073-2026	英文版	694	GB/T 47073-2026	[PDF]天数 <=5	表面化学分析深度剖析中能离子散射术对硅基底上纳米尺度重金属氧化物薄膜的无损深度剖析	GB/T 47073-2026	有效

基本信息
标准编号	GB/T 47073-2026 (GB/T47073-2026)
中文名称	表面化学分析深度剖析中能离子散射术对硅基底上纳米尺度重金属氧化物薄膜的无损深度剖析
英文名称	Surface chemical analysis - Depth profiling - Non-destructive depth profiling of nanoscale heavy metal oxide thin films on Si substrates with medium energy ion scattering
行业	国家标准 (推荐)
中标分类	G04
国际标准分类	71.040.40
发布日期	2026-01-28
实施日期	2026-08-01

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