搜索结果: SJ/T 10311-1992, SJ/T10311-1992, SJT 10311-1992, SJT10311-1992
| 标准编号 | SJ/T 10311-1992 (SJ/T10311-1992) | | 中文名称 | 低压化学气相淀积设备通用技术条件 | | 英文名称 | Generic specification of low pressure chemical vapor deposition system | | 行业 | 电子行业标准 (推荐) | | 中标分类 | L99 | | 字数估计 | 11,127 | | 发布日期 | 6/5/1992 | | 实施日期 | 12/1/1992 | | 引用标准 | SJ 2065; SJ 142; SJ 946; GB 191; GB 6388 | | 范围 | 本标准适用于卧式热壁型低压化学气相淀积设备(以下简称LPCVD设备)的设计、制造及工艺应用。其它形式的LPCVD设备的研制亦应参照使用。 | ......
|