搜索结果: SJ/T 10478-1994, SJ/T10478-1994, SJT 10478-1994, SJT10478-1994
| 标准编号 | SJ/T 10478-1994 (SJ/T10478-1994) | | 中文名称 | 磁控溅射设备通用技术条件 | | 英文名称 | General specification for magnetic sputtering equipment | | 行业 | 电子行业标准 (推荐) | | 中标分类 | L98 | | 字数估计 | 10,154 | | 发布日期 | 4/11/1994 | | 实施日期 | 10/1/1994 | | 范围 | 本标准规定了磁控溅射设备的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存等。本标准适用于磁控溅射设备(以下简称“设备”)。 | ......
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