[PDF] GB 6621-1986 - 中国标准 英文版
| 标准号码 | 美元 | 购买PDF | 工期 | 标准名称(英文版) |
| GB 6621-1986 | 239 | GB 6621-1986 | <=2 | 硅抛光片表面平整度的非接触式测试方法 |
| 基本信息 | |
|---|---|
| 标准编号 | GB 6621-1986 (GB6621-1986) |
| 中文名称 | 硅抛光片表面平整度的非接触式测试方法 |
| 英文名称 | Standard method for measuring surface flatness of polished silicon wafers by noncontact technique |
| 行业 | 国家标准 |
| 中标分类 | H26 |
| 字数估计 | 6,693 |
| 发布日期 | 7/26/1986 |
| 实施日期 | 7/1/1987 |
| 采用标准 | ASTM F575-1982, MOD |