路径: 主页 > GB/T > 第239页 > GB/T 26111-2010 | 标准编号 | GB/T 26111-2010 (GB/T26111-2010) | | 中文名称 | 微机电系统(MEMS)技术 术语 | | 英文名称 | Micro-electromechanical system technology -- Terms | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | L55 | | 国际标准分类 | 31.200 | | 字数估计 | 37,344 | | 发布日期 | 1/10/2011 | | 实施日期 | 10/1/2011 | | 引用标准 | GB/T 2900.66-2004 | | 标准依据 | 国家标准批准发布公告2011年第1号(总第166号) | | 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | | 范围 | 本标准规定了微机电系统领域所涉及的材料、设计、加工、封装、测量以及器件等方面的通用术语和定义。 本标准适用于微机电系统领域的研究、开发、评测和应用。 | GB/T 26111-2010
Micro-electromechanical system technology.Terms
ICS 31.200
L55
中华人民共和国国家标准
微机电系统(MEMS)技术 术语
2011-01-10发布
2011-10-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布
目次
前言 Ⅲ
1 范围 1
2 规范性引用文件 1
3 术语和定义 1
3.1 综合性术语 1
3.2 科学与工程术语 2
3.3 与材料相关的术语 3
3.4 与设计相关的术语 4
3.5 与加工工艺相关的术语 7
3.6 封装与组装术语 10
3.7 测量技术术语 13
3.8 与器件相关的术语 15
参考文献 22
索引 23
汉语拼音索引 23
英文对应词索引 27
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准由全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC336)提出并归口。
本标准主要起草单位:中机生产力促进中心、中国电子科技集团第13研究所、清华大学、上海交通
大学、中北大学。
本标准主要起草人:丁红宇、刘伟、张苹、崔波、杨拥军、叶雄英、陈迪、石云波。
微机电系统(MEMS)技术 术语
1 范围
本标准规定了微机电系统领域所涉及的材料、设计、加工、封装、测量以及器件等方面的通用术语和
定义。
本标准适用于微机电系统领域的研究、开发、评测和应用。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅所注日期的版本适用于本
文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 2900.66-2004 电工术语 半导体器件和集成电路(IEC 60050-521:2002,IDT)
3 术语和定义
3.1 综合性术语
3.1.1
微系统 microsystem
微机械 micromachine
关键(部件)特征尺寸在亚微米至亚毫米之间,能独立完成机电光等功能的系统。
注1:微机电系统一般包括微型机构、微传感器、微执行器、信号处理和控制、通讯接口电路以及能源等部分。
注2:微机电系统通常需要多学科领域技术的综合应用,例如机、电、光、生物等多种领域。
注3:MEMS主要在美国使用,微系统主要在欧洲使用,微机械主要在日本使用。
3.1.2
MEMS技术
实现微机电系统的技术。
3.1.3
针对于微机电系统的微观科学与工程。
注:随着微机电系统构件尺寸的减小,许多物理特性发生了变化。主要有两类情况:1)这些变化有时可以由宏观世
界的变化推断出来;2)随着微观效应的增强,使得这种推断变得不可能。对于后者,我们不仅要建立新的理论
和经验公式来解释微观世界的现象,而且需要研究新的工程分析和归纳方法。可以针对微机电系统开展材料
学、流体力学、热力学、摩擦学、控制......
|