[PDF] SJ/T 11487-2015 - 英文版
| 标准号码 | 美元 | 购买PDF | 工期 | 标准名称(英文版) |
| SJ/T 11487-2015 | 189 | SJ/T 11487-2015 | <=3 | 半绝缘半导体晶片电阻率的无接触测量方法 |
| 基本信息 | |
|---|---|
| 标准编号 | SJ/T 11487-2015 (SJ/T11487-2015) |
| 中文名称 | 半绝缘半导体晶片电阻率的无接触测量方法 |
| 英文名称 | Non-contact measurement method for the resistivity of semi-insulating semiconductor wafer |
| 行业 | 电子行业标准 (推荐) |
| 中标分类 | H83 |
| 国际标准分类 | 29.045 |
| 字数估计 | 8,813 |
| 发布日期 | 2015-04-30 |
| 实施日期 | 2015-10-01 |
| 引用标准 | GB/T 14264 |
| 标准依据 | 工业和信息化部公告2015年第28号;行业标准备案公告2015年第7号(总第187号) |
| 发布机构 | 工业和信息化部 |
| 范围 | 本标准规定了半绝缘半导体晶片电阻率的无接触测量方法。本标准适用于半绝缘砷化稼、磷化铟、碳化硅等高阻半导体材料电阻率的测量, 电阻率的测量范围为10^5Ω·cm～10^12Ω·cmo |