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| 标准编号 | GB 6622-1986 (GB6622-1986) | | 中文名称 | 硅化学抛光片漩涡缺陷和条纹的测试方法 | | 英文名称 | Detects of swirls and striations in chemically polished silicon wafers | | 行业 | 国家标准 | | 中标分类 | H26 | | 字数估计 | 4,479 | | 发布日期 | 7/26/1986 | | 实施日期 | 7/1/1987 | | 采用标准 | ASTM F416-1981, IDT |
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