路径: 主页 > SJ/T > 第81页 > SJ/T 11487-2015 | 标准编号 | SJ/T 11487-2015 (SJ/T11487-2015) | | 中文名称 | 半绝缘半导体晶片电阻率的无接触测量方法 | | 英文名称 | Non-contact measurement method for the resistivity of semi-insulating semiconductor wafer | | 行业 | 电子行业标准 (推荐) | | 中标分类 | H83 | | 国际标准分类 | 29.045 | | 字数估计 | 8,813 | | 发布日期 | 2015-04-30 | | 实施日期 | 2015-10-01 | | 引用标准 | GB/T 14264 | | 标准依据 | 工业和信息化部公告2015年第28号;行业标准备案公告2015年第7号(总第187号) | | 发布机构 | 工业和信息化部 | | 范围 | 本标准规定了半绝缘半导体晶片电阻率的无接触测量方法。本标准适用于半绝缘砷化稼、磷化铟、碳化硅等高阻半导体材料电阻率的测量, 电阻率的测量范围为10^5Ω·cm～10^12Ω·cmo | ......
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