路径: 主页 > SJ/T > 第81页 > SJ/T 11494-2015 | 标准编号 | SJ/T 11494-2015 (SJ/T11494-2015) | | 中文名称 | 硅单晶中III-V族杂质的光致发光测试方法 | | 英文名称 | Test methods for photoluminescence analysis of single crystal silicon for III-V impurities | | 行业 | 电子行业标准 (推荐) | | 中标分类 | H82 | | 国际标准分类 | 29.045 | | 字数估计 | 12,161 | | 发布日期 | 2015-04-30 | | 实施日期 | 2015-10-01 | | 引用标准 | GB/T 13389; GB/T 24581 | | 标准依据 | 工业和信息化部公告(2015年第28号) | | 发布机构 | 工业和信息化部 | | 范围 | 本标准规定了硅单晶中硼、磷杂质的光致发光测试方法。本标准适用于低位错密度(＜500个/cm^2)硅单晶中导电性杂质硼、磷含量的测定, 同时也适用于检测硅单晶中含量1×10^11at.cm^-3～5×10^15at.cm^-3的各种电活性杂质。 | ......
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