| 标准编号 | GB/T 26112-2010 (GB/T26112-2010) | | 中文名称 | 微机电系统(MEMS)技术 微机械量评定总则 | | 英文名称 | Micro-electromechanical system technology -- General rules for the assessment of micro-mechanical parameters | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | L55 | | 国际标准分类 | 31.2 | | 字数估计 | 13,163 | | 发布日期 | 1/10/2011 | | 实施日期 | 10/1/2011 | | 引用标准 | GB/T 26111, | | 标准依据 | 国家标准批准发布公告2011年第1号(总第166号) | | 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | | 范围 | 本标准规定了微机械量的评定基本原则、评定要素、评定程序、评定方法以及评定规则。本标准适用于企业、研究机构、检检测构从事微机电技术及产品的研究、设计、生产、检测及使用。 | GB/T 26112-2010
Micro-electromechanical system technology.General rules for the assessment of micro-mechanical parameters
ICS 31.200
L55
中华人民共和国国家标准
微机电系统(MEMS)技术
微机械量评定总则
2011-01-10发布
2011-10-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准由全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC336)提出并归口。
本标准起草单位:天津大学、中机生产力促进中心、西安交通大学、大连理工大学、太原理工大学、中
原工学院。
本标准主要起草人:胡晓东、丁红宇、刘伟、张苹、景蔚宣、蒋庄德、刘冲、张文栋、赵则祥。
微机电系统(MEMS)技术
微机械量评定总则
1 范围
本标准规定了微机械量的评定基本原则、评定要素、评定程序、评定方法以及评定规则。
本标准适用于企业、研究机构、检测机构从事微机电技术及产品的研究、设计、生产、检测及使用。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅所注日期的版本适用于本
文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 26111 微机电系统(MEMS)技术 术语
3 术语和定义
GB/T 26111界定的以及下列术语和定义适用于本文件。
3.1
微机械量 micro-mechanicalparameters
泛指一切与微机械性质和状态相关的物理量,包括几何量、流量、温度、声学、力学和运动等物理量;
由于几何量、流量、温度、声学等物理量进行了专门的分类,因此微机械量是指位移、速度、加速度、振动
等运动特性参量,以及与运动特性相关的力学参量。
3.2
描述质点在微米级尺度下位置变化的物理量,其大小等于起点至终点的直线距离,方向由起点指向
终点。
注1:微结构在受到一定激励的条件下会产生位置的变化,典型的位置变化有两种形式,平移和转动,分别对应线位
移和角位移。
注2:如果将微结构基底作为一个参考平面,与这个参考平面面平行的位移为面内位移,否则称为离面位移。
3.3
振动 vibration
物体的往复运动。按照往复运动的方向可分为线振动和角振动。评定微结构的振动特性主要包
括:振动幅度、谐振频率、振动模态、品质因子。
3.4
残余应力 residualstress
在微加工处理完成后,在没有外力的作用下,在微机械结构内部保持平衡而存留的应力,称为残余
......
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