| 标准编号 | GB/T 37466-2019 (GB/T37466-2019) | | 中文名称 | 氮化镓激光剥离设备 | | 英文名称 | Laser lift-off equipment used for GaN | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | L95 | | 国际标准分类 | 31.550 | | 字数估计 | 18,130 | | 发布日期 | 2019-06-04 | | 实施日期 | 2019-10-01 | | 发布机构 | 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会 | GB/T 37466-2019
Laser lift-off equipment used for GaN
ICS 31-550
L95
中华人民共和国国家标准
氮化镓激光剥离设备
2019-06-04发布
2019-10-01实施
国 家 市 场 监 督 管 理 总 局
中国国家标准化管理委员会 发 布
目次
前言 Ⅲ
1 范围 1
2 规范性引用文件 1
3 术语和定义 1
4 产品分类和标记 2
4.1 分类 2
4.2 型号标记 3
5 工作条件 4
5.1 电源 4
5.2 环境温度 4
5.3 相对湿度 4
5.4 大气压力 4
5.5 洁净室等级 4
5.6 电磁干扰 4
5.7 地基振动要求 4
6 要求 4
6.1 外观 4
6.2 激光要求 4
6.3 扫描台 5
6.4 整机性能 5
6.5 电气要求 5
6.6 控制装置 5
6.7 软件要求 6
6.8 电磁兼容 6
6.9 噪声 6
6.10 平均无故障时间 6
6.11 安全要求 6
7 检测方法 7
7.1 外观检查 7
7.2 激光检查 7
7.3 扫描台检查 8
7.4 整机性能检测 9
7.5 电气检查 9
7.6 控制装置检查 10
7.7 软件检测 10
7.8 电磁兼容试验 10
7.9 噪声测试 10
7.10 平均无故障时间验证 10
7.11 安全要求检查 10
8 检验规则 11
8.1 检验分类 11
8.2 鉴定检验 11
8.3 出厂检验 11
8.4 判定规则 11
9 标志、包装、运输和贮存 12
9.1 标志 12
9.2 包装 12
9.3 运输 13
9.4 贮存 13
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。
本标准起草单位:东莞市中镓半导体科技有限公司、中国电子技术标准化研究院。
本标准主要起草人:孙永健、刘鹏、丁晓民、冯亚彬、汪青。
氮化镓激光剥离设备
1 范围
本标准规定了氮化镓激光剥离设备(以下简称“激光剥离设备”)的产品分类和标记、工作条件、要
求、检测方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
本标准适用于利用激光方法将蓝宝石衬底生长的氮化镓(GaN)基外延层进行剥离的设备,氮化铝
激光剥离设备可参考本标准。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
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