SJZ2926-1988 相关标准英文版PDF
| 标准号码 | 价格美元 | 第2步(购买) | 交付天数 | 标准名称 |
| SJ/Z 2926-1988 | 669 | SJ/Z 2926-1988 | [PDF]天数 <=4 | 集成电路制版设备性能测试方法 |
| 基本信息 | |
|---|---|
| 标准编号 | SJ/Z 2926-1988 (SJ/Z2926-1988) |
| 中文名称 | 集成电路制版设备性能测试方法 |
| 英文名称 | Test methods for properties of mask-making equipment for manufacturing of ICs |
| 行业 | 电子行业标准 |
| 中标分类 | L99 |
| 字数估计 | 19,118 |
| 发布日期 | 3/10/1988 |
| 实施日期 | 10/1/1988 |
| 标准依据 | 工科(2010) 第77号 |
| 范围 | 本指导性技术文件适用于自动刻(绘)图机、图形发生器、精缩照相机三类光学制版设备主要性能测试方法。测试目的在于检查设备的技术性能指标是否达到原设计或使用要求。本指导性技术文件未规定的性能测试方法, 应在各类设备技术文件中另行规定。 |
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