路径: 主页 > GB/T > 第432页 > GB/T 32189-2015 | 标准编号 | GB/T 32189-2015 (GB/T32189-2015) | | 中文名称 | 氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法 | | 英文名称 | Test method for surface roughness of GaN single crystal substrate by atomic force microscope | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | H21 | | 国际标准分类 | 77.040 | | 字数估计 | 11,114 | | 发布日期 | 2015-12-10 | | 实施日期 | 2016-11-01 | | 引用标准 | GB/T 3505; GB/T 14264; GB/T 27760; JJF 1351 | | 标准依据 | 国家标准公告2015年第38号 | | 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | | 范围 | 本标准规定了用原子力显微镜测试氮化镓单晶衬底表面粗糙度的方法。本标准适用于化学气相沉积及其他方法生长制备的表面粗糙度小于10 nm的氮化镓单晶衬底。其他具有相似表面结构的半导体单晶衬底应用本标准提供的方法进行测试前, 需经测试双方协商达成一致。 | GB/T 32189-2015
Test method for surface roughness of GaN single crystal substrate by atomic force microscope
ICS 77.040
H21
中华人民共和国国家标准
氮化镓单晶衬底表面粗糙度的
原子力显微镜检验法
microscope
2015-12-10发布
2016-11-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会 (SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准
化技术委员会材料分会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口。
本标准起草单位:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、苏州纳维科技有限公司。
本标准主要起草人:刘争晖、钟海舰、徐耿钊、樊英民、邱永鑫、曾雄辉、王建峰、徐科。
氮化镓单晶衬底表面粗糙度的
原子力显微镜检验法
1 范围
本标准规定了用原子力显微镜测试氮化镓单晶衬底表面粗糙度的方法。
本标准适用于化学气相沉积及其他方法生长制备的表面粗糙度小于10nm的氮化镓单晶衬底。
其他具有相似表面结构的半导体单晶衬底应用本标准提供的方法进行测试前,需经测试双方协商达成
一致。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 3505 产品几何技术规范(GPS) 表面结构 轮廓法 术语、定义及表面结构参数
GB/T 14264 半导体材料术语
GB/T 27760 利用Si(111)晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法
JJF1351 扫描探针显微镜校准规范
3 术语和定义
GB/T 3505、GB/T 14264和GB/T 27760界定的术语和定义适用于本文件。
4 方法原理
4.1 测试原理
本标准采用原子力显微镜测试样品某个区域的三维表面形貌,进而根据表面形貌中包含的一组表
面轮廓的数值评定粗糙度。由于原子力显微镜在高度方向的分辨率(即纵向分辨率)通常不超过0.1nm,
横向分辨率通常可达到10nm,因此能清晰地分辨单晶衬底上的原子台阶(台阶高度通常< 1nm),是评
价单晶衬底粗糙度的有效手段。
原子力显微镜测试样品表面粗糙度的原理如图1所示。测试样品表面形貌时,首先通过粗逼近装
置将样品和针尖接近到数纳米的距离,使之产生相互作用力。原子力显微镜有接触模式、轻敲模式等多
种工作模式探测针尖和样品的相互作用力。以接触模式为例,探针与样品直接接触,其相互作用力使悬
梁臂发生形变,从而被激光和四象限光电探测器构成的光杠杆所探测。当通过扫描信号发生器使样品
台产生x-y方向移动时,通过反馈控制器控制样品的高低z,使悬梁臂的形变始终保持恒定,输出z的
变化,即为测试到的表面形貌。如果是轻敲模式,则通过一个激振器使悬梁臂产......
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