搜索结果: SJ/T 11491-2015, SJ/T11491-2015, SJT 11491-2015, SJT11491-2015
| 标准编号 | SJ/T 11491-2015 (SJ/T11491-2015) | | 中文名称 | 短基线红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量 | | 英文名称 | Test methods for measurement of interstitial oxygen content in silicon by short baseline infrared absorption spectrometry | | 行业 | 电子行业标准 (推荐) | | 中标分类 | H82 | | 国际标准分类 | 29.045 | | 字数估计 | 12,196 | | 发布日期 | 2015-04-30 | | 实施日期 | 2015-10-01 | | 标准依据 | 工业和信息化部公告2015年第28号;行业标准备案公告2015年第7号(总第187号) | | 发布机构 | 工业和信息化部 | | 范围 | 本标准规定了用短基线红外光谱法测定硅中间隙氧含量。本标准适用于在室温下用短基线红外吸收法, 测量低电阻率的n型硅单晶和p型硅单晶中间隙氧含量。测量氧含量的有效范围从1×1016at.cm-3至硅单晶中间隙氧的最大固溶度的测试。 | ......
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